在SEMICON China 2025展会时间开yun体育网，中微半导体开拓（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码“688012.SH”）通告其自主研发的12英寸晶圆边际刻蚀开拓Primo Halona™珍贵发布。中微公司此款刻蚀开拓的问世，杀青了在等离子体刻蚀技巧鸿沟的又一次松懈改变，标记着公司向要津工艺全面阴私的标的再进一步，也为公司的高质料发展注入强健动能。

　　此款12英寸边际刻蚀开拓Primo Halona™采器具有中微公司特点的双响应台联想，可生动成立最多三个双响应台的响应腔，且每个响应腔均能同期加工两片晶圆，在保证较低分娩本钱的同期，称心晶圆边际刻蚀的量产需求，从而杀青更高的产出密度，提高分娩恶果。此外，开拓腔体均搭载Quadra-arm机械臂，精确生动，腔体里面剿袭抗腐蚀材料联想，可抵牾卤素气体腐蚀，为开拓的贯通性与长久性提供保证。此外，Primo Halona™配备私有的自瞄准装配联想决策，不仅可提高险峻极板的对中精度和平行度，还可灵验减少因校准装配带来的停机爱戴时间，从而匡助客户优化产能，精益分娩。在开拓智能化方面，Primo Halona™提供可选装的集成量测模块，客户通过该量测模板可杀青土产货及时膜厚量测，一键式杀青晶圆传送的抵偿校准，杀青更好的家具爱戴性，大大提高后期爱戴恶果。

　　中微公司晶圆边际刻蚀开拓Primo Halona™

　　据事迹快报清醒，中微公司2024年交易收入约90.65亿元，较2023年增多约28.02亿元。公司在以前13年保握交易收入年均增长大于35%，近四年交易收入年均增长大于40%的基础上，2024年交易收入又同比增长约44.73%。其中，刻蚀开拓收入约72.77亿元，在最近四年收入年均增长跨越50%的基础上，2024年又同比增长约54.73%。

　　此外，中微公司握续加码改变研发，2024年在研技俩平方涵盖六大类开拓，积极激动跨越二十款新式开拓的研发职责，并在半导体薄膜千里积开拓鸿沟络续松懈，推出了多款LPCVD薄膜开拓和ALD薄膜开拓新家具，获取了重迭性订单。公司新开发的硅和锗硅外延EPI开拓等多款新家具，也会在近期参加阛阓考据。

　　探索束缚，改变不啻。一直以来，中微公司握续践行“五个十大”的企业文化，将家具开发的十大原则长久招引于家具开发、联想和制造的全经过，研发团队秉握为达到开拓高性能和客户严格条件而开发的理念，坚握技巧改变、开拓各别化和常识产权保护。

　　自2004年开发以来，中微公司勉力于于开发和提供具有外洋竞争力的微不雅加工的高端开拓，现已发展成为国内高端微不雅加工开拓的领军企业之一。中微公司轮廓竞争上风络续增强，聚焦提高劳动分娩率，在2022年达到东说念主均销售350万元的基础上，2024年东说念主均销售跨越了400万元，各项营运规画已达到外洋先进半导体开拓企业水平。

　　中微公司将络续瞄准宇宙科技前沿，握续践行三维发展计策，打造更多具有外洋竞争力的技巧改变与各别化家具开yun体育网，为客户和阛阓提供性能优胜、高分娩恶果和高性价比的开拓措置决策。